SEMI S2-0200（半導体製造装置の環境,健康,安全に関するガイドライン）

概要

SEMI S2は半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドラインです。
このガイドラインの目的は、装置のライフサイクル（つまり、設置，操作、保守、サービス，及び装置の廃棄）における危険を抑制，あるいは無くすことです。その為に、電気設計、化学物質、放射線、排気換気、機械設計、人間工学、安全インターロックシステム、火災保護、地震保護、環境への配慮等広範囲な安全設計を提案しています。装置の設計、製作は法規制による要求事項、業界スタンダード、SEMI　S2、技術及び製造上の最善の慣行に従って、PL対策を念頭に入れた製品の安全性を確立しなければなりません。
さらに、当ガイドラインで、エンドユーザーが要求した場合には、第３者検査機関による安全性に関する評価報告書の提出を義務づけけています。

弊社業務案内

上記の対応として、弊社では
１． 既存装置に関する安全評価をSEMI S2及びその引用規格等に基き行います。
評価報告書にはもし不適合があれば、不適合の内容、リスクレベル及び改造提案を記載します。
２． SEMI S2 に適合する装置には弊社の評価認定書を発行します。
３． 安全設計、試験方法及びマニュアル等の文書作成に関する支援を行います。
提出文書は重要な製品の一部であり、慎重に作成する必要があります。
４． SEMI F15に基くトレーサーガス試験の実施を行います。

５． 設計に入る前段階にSEMI S2の要求項目の全て、及びその引用法規及びコードに関連した設計ガイダンスを行います。
　　特に設計ガイダンスは多くの装置メーカー様より大好評を頂いています。
　　設計変更の発生を最小限に抑え、出荷が計画的に行えるメリットがありま
　　す。

業務手順

１．貴社より対象製品に関する機能仕様書、外観図、電気図面、製品カタログ　　
　　等を1部送付して頂きます。FAX、E-mailで送付下さっても結構です。
２．見積書を提出させて頂きます。ステップ番号で業務項目を分け、各ステッ
　　プ毎に見積ます。ステップの表を参照下さい。
３．ご注文のステップ、業務の規模、専門別等から判断しまして、プロジェク
　　　トチームを編成致します。
４．各ステップに応じた業務を貴社のスケジュールに従い実施致します。
５．最終安全が確認された時点で、SEMI S2，その引用法規及び規格に対応した評価報告書を提出致します。
各ステップ単独のご注文も対応可能です。例えば　ステップ０（ガイダンス）のみのご注文も可能です。

計測試験　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
製品安全実証のための各種計測テストを実施いたします。
（a）有害化学物質の作業環境義度測定
（b）有害化学物質に関するトレーサーガステスト
（c）排気量および制御風速の測定
（d）電磁界強度（人体被爆量）測定
（e）騒音測定
（f）紫外線強度測定

SEMI S2の安全評価は、親切、丁寧、合理的、経済的（何処よりも経済的です）、早い、説明が明確で面白い、と評判を得ています、ICB　にお任せ下さい。

業務のステップ表